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半導體器件高低溫測試設備

簡要描述:半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量:1251
詳情介紹

半導體器件高低溫測試設備(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產(chǎn)過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。

半導體器件高低溫測試設備特點:

變頻控制,智能PID控制

預測控制及自適應控制

模塊化功能定制,高效節(jié)能

兩級閉環(huán)節(jié)能控制

普泰克(proteco)制冷設備技術集合了多位生物制藥領域、機械設計、軟件自控的專業(yè)人才,依托于浙江大學制冷研究院的技術團隊支持,致力于高低溫設備的研究、開發(fā)、制造、銷售。

我司借鑒歐美技術,以模塊化部件為平臺,衍生出多款高低溫設備產(chǎn)品,提出:“個性化溫度控制解決方案"的理念!嚴格按照客戶要求進行規(guī)劃和制造,產(chǎn)品廣泛應用于國內(nèi)外科學研究和工藝開發(fā)、新能源汽車、生物技術、醫(yī)藥行業(yè)、航空航天、半導體、醫(yī)療技術等行業(yè)。




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